第四章精密仪器的微位移技术4. 1 概述微位移技术是精密机械与精密仪器的关键技术之一 。微位移技术是精密机械与精密仪器的关键技术之一 。用于微电子技术、 宇航、 生物工程等。大型天文望远镜的抛物面反射镜： 用金刚石车刀 直接车削， 要求加工出 几何精度高于l／ 10光波波长的表面， 即几何形状误差小于0.05μm。计算机外围设备： 大容量磁鼓和磁盘的制造， 为保证磁头与磁盘在工作过程中维持1μm内的浮动气隙， 就必须严格控制磁盘或磁鼓在高速回转下的跳动。

　　第四章精密仪器的微位移技术4. 1 概述微位移技术是精密机械与精密仪器的关键技术之一 。微位移技术是精密机械与精密仪器的关键技术之一 。用于微电子技术、 宇航、 生物工程等。大型天文望远镜的抛物面反射镜： 用金刚石车刀 直接车削， 要求加工出 几何精度高于l／ 10光波波长的表面， 即几何形状误差小于0.05m。计算机外围设备： 大容量磁鼓和磁盘的制造， 为保证磁头与磁盘在工作过程中维持1m内的浮动气隙， 就必须严格控制磁盘或磁鼓在高速回转下的跳动。