关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司2023年度向特定对象发行A股股票的补充法律意见书（一）

　　本所接受发行人的委托，作为本次发行的特聘专项法律顾问，根据发行人与本所签订的专项法律服务委托协议，为本次发行提供法律服务。

　　为本次发行之目的，本所律师于2023年4月26日出具了金证法意[2023]字0426第0303号《法律意见书》、金证律报[2023]字0426第0304号《律师工作报告》。

　　本所律师现就上交所于2023年5月22日下发的《关于上海至纯洁净系统科技股份有限公司向特定对象发行股票申请文件的审核问询函》（以下简称“《问询函》”）中涉及的问题进行补充核查，出具本补充法律意见书。

　　本补充法律意见书依据《公司法》《证券法》等有关法律法规及中国证监会的有关规定，按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神出具。

　　本补充法律意见书中所使用的术语、名称、简称，除特别说明外，与《律师工作报告》《法律意见书》中的定义一致。本所律师在前述法律文件中所作的各项声明，适用于本补充法律意见书。本补充法律意见书构成对前述法律文件的必要补充。除本补充法律意见书特别说明之外，本所律师对本次发行的法律问题的意见和结论仍适用前述法律文件中的相关表述。

　　本补充法律意见书仅供本次发行之目的使用，不得用作任何其他目的。本所律师同意将本补充法律意见书作为本次发行所必备的法律文件随其他材料一起上报，并依法对本补充法律意见书承担责任。

　　本补充法律意见书所称“近三年”或“报告期”是指“2020年度、2021年度、2022年度”。

　　请发行人说明：（1）本次募投项目与公司主营业务、前次募投项目在产品、技术、生产工艺及设备等的区别与联系，公司在前次募投项目尚未实现效益的情况下实施本次募投项目的必要性及主要考虑，是否涉及重复建设；（2）结合报告期内系统集成与半导体设备行业发展情况、主要技术路线，公司所处行业地位，本次募投项目主要产品价格、市场供求关系等变化情况、公司在技术、人员、专利等领域的储备情况，说明本次募投项目实施的可行性；（3）结合公司竞争对手产能及扩产安排、意向客户或在手订单、公司业务发展规划、目前主要产品的产能利用率情况、前次募投项目主要产品的产能实现情况等，说明本次新增产能的合理性、新增产能与公司业务发展情况的匹配性、新增产能具体消化措施；（4）上述募投项目土地权证办理情况，预计取得时间，是否存在办理障碍，相关不利因素是否可能影响本次项目顺利实施，是否已充分提示相关风险；（5）公司及控股、参股子公司是否从事房地产业务，本次募集资金是否投向房地产相关业务，公司主营业务及本次募投项目是否符合国家产业政策。

　　一、本次募投项目与公司主营业务、前次募投项目在产品、技术、生产工艺及设备等的区别与联系，公司在前次募投项目尚未实现效益的情况下实施本次募投项目的必要性及主要考虑，是否涉及重复建设

　　（一）本次募投项目与公司主营业务、前次募投项目在产品、技术、生产工艺及设备等的区别与联系

　　本次募投项目与公司主营业务在产品、技术、生产工艺及设备等的区别与联系如下：

　　产品 本项目拟研发的单片湿法工艺模组、单片式腔体及核心零部件产品主要以高阶先进制程设备为目标，借助核心零部件的成功研发，实现整机产品在 14nm及以下的逻辑芯片及1Xnm存储芯片、以及一些特殊工艺的制造应用，与现有成熟产品存在区别 本项目基于公司现有半导体湿法设备在28nm工艺节点的研发及生产积累，将针对14nm及以下工艺节点的高阶单片湿法工艺模组、单片式腔体及耐腐蚀性、高精密度的核心零部件进行研发及产业化，增加核心产品的竞争力，进入更高阶产品的竞争

　　技术 与主营业务相比，本项目中的高阶单片湿法工艺模组涉及到的技术包含高温化学蚀刻反应的处理技术、晶圆晶边清洗技术、以及SPM高阶制程清洗工艺技术等先进湿法领域技术 本项目是基于公司现有半导体湿法设备在28nm工艺节点的研发及生产的技术积累

　　生产工艺 本项目生产工艺主要包含零部件产品的精密机加工、表面处理、及焊接等工艺以及高阶模组产品的集成组装生产能力 本项目以公司目前成熟产品的生产工艺基础及生产经验作为迈向更高阶产品的支撑

　　设备 与主营业务相比，本项目的零部件产品生产主要涉及精密加工及配套检测设备 本项目在单片湿法工艺模组产品中使用到的部分生产设备与目前半导体设备业务中使用到的生产设备有部分一致

　　产品 1、半导体设备及系统集成设备产品方面，本项目主要针对北方客户市场，与主营业务产品区别较小，但销售区域不同 2、零部件产品方面，针对国内半导体 设备核心零部件进口依赖局面，为加速推进我国半导体设备零部件国产化进程，本项目涉及半导体设备及系统集成及支持设备零部件的研发及生产，与公司目前主营业务产品不同 本项目的主要产品之一为系统集成及支持设备，以及半导体湿法设备，主要是基于公司现有成熟的半导体湿法设备以及系统集成及支持设备的工艺技术积累，对于公司现有成熟设备产品的产能的扩充

　　技术 本项目中零部件产品涉及零部件设计与技术包含耐压性设计、膜片的工艺技术，以及通过结构设计优化、加工工艺改进等方式提高零部件寿命等技术，与公司现有半导体设备业务技术不同 本项目设备产品的技术与生产工艺主要基于公司现有成熟的半导体湿法设备以及系统集成及支持设备的技术及工艺技术积累

　　生产工艺 本项目中零部件产品的生产工艺与目前主营业务的半导体设备产品不同，零部件生产涉及精密加工、钣金等多种工艺环节 本项目基于公司现有成熟的半导体湿法设备以及系统集成及支持设备的技术及工艺技术积累，是对于公司现有成熟产品的产能扩充，因此设备产品的生产工艺与主营业务相同

　　设备 本项目零部件产品生产过程涉及到精密加工设备及配套检测设备，与主营业务所需设备有所区别 本项目半导体设备产品为公司对于现有成熟产品的产能扩充，因此涉及到的生产设备与主营业务中半导体设备使用的生产设备部分一致

　　产品 本项目主要用于研发并量产炉管与涂胶显影等集成电路设备、光伏制绒清洗设备等泛半导体工艺设备，以及设备配套核心零部件等产品 本项目产品线将布局延伸至产业链上游零部件及更多的设备品种，进一步覆盖至已有产业链下游客户的更多领域，增加公司产品线广度

　　技术 本项目产品涂胶显影设备涉及工艺胶旋涂均匀成膜技术、显影缺陷检测技术、高精度烘烤/冷却坚膜技术、腔体内环境温湿度/颗粒度高精度控制技术等技术，与公司目前主营业务有所不同 本项目产品光伏制绒清洗设备为在公司现有半导体湿法清洗设备的洁净度控制技术、金属颗粒控制技术等技术为基础，进行再研发并拓展至光伏设备领域

　　生产工艺 本项目炉管、涂胶显影等集成电路设备，以及配套零部件与公司目前主营业务的生产工艺存在部分不同 本项目产品炉管设备需要对于先进设备的集成和整合能力，涉及到电气系统、软件系统及机械系统等多个子系统，公司现有半导体设备业务的生产工艺及生产经验可为炉管设备的生产提供借鉴

　　设备 本项目中零部件产品涉及精密加工设备及配套检测设备，与主营业务所需设备有所区别 本项目的集成电路与泛半导体设备产品中使用到的部分生产设备与目前主营业务半导体设备中使用到的生产设备有部分一致

　　公司前次募投项目中，半导体湿法设备制造项目、半导体湿法清洗设备扩产项目与本次募投项目均属于半导体设备领域的募投项目，公司本次募投项目与前次募投项目在产品、技术、生产工艺及设备等的区别与联系如下：

　　产品 前次募投半导体湿法清洗设备扩产项目中的产品主要为槽式半导体湿法清洗设备和单片式半导体湿法清洗设备，是针对28nm及以上成熟制程的清洗设备，与本项目针对的高阶先进制程设备中的高阶单片湿法工艺模组及核心零部件不同 前次募投中的半导体湿法清洗设备与本项目中的高阶单片湿法工艺模组均属于半导体湿法清洗设备领域

　　技术 本项目涉及的高阶单片湿法工艺模组涉及到的技术包含高温化学蚀刻反应的处理技术、晶圆晶边清洗技术、SPM高阶制程清洗工艺技术等先进湿法领域技术以及复合材料零部件金属离子控制技术 本项目中的高阶单片湿法工艺模组产品是基于前次募投项目中单片式半导体湿法清洗设备的技术积累所做出的更高阶产品

　　生产工艺 本项目主要涉及零部件的机加工以及核心模组的设计及集成组装生产能力，前次募投项目的生产工艺更多聚焦于整机的集成及组装生产能力 本项目单片高阶模组的集成与组装生产工艺，如电气系统、软件系统及机械系统的集成与整合，部分基于前次项目的工艺积累与沉淀

　　设备 本项目的零部件生产主要涉及精密机加工及配套检测设备，为适应高阶制程的相关零部件的要求，本次精密机加工设备的规格更高 本项目涉及的单片湿法工艺模组产品中使用到的部分生产设备与前次募投中半导体设备中使用到的生产设备有部分一致

　　产品 前次募投项目的半导体湿法设备制造项目产品主要为槽式半导体湿法清洗设备和单片式半导体湿法清洗设备，北方项目除了成熟的半导体湿法设备，还包括系统集成及支持设备及零部件产品 本项目的半导体清洗湿法设备是前次募投项目产品的产线扩充

　　技术 本项目中零部件产品涉及的设计与技术包含阀件的高流通能力技术，及气液分离技术等技术，与前次募投项目有所不同 本项目半导体湿法设备产品的技术与生产工艺基于前次募投项目中的半导体湿法设备的技术及工艺技术积累

　　生产工艺 本项目中的零部件产品生产涉及精密加工、钣金等工艺，与前次募投项目工艺有所不同 本项目半导体湿法设备产品的技术与生产工艺基于前次募投项目中的半导体湿法设备的技术及工艺技术积累

　　设备 本项目中零部件产品涉及到精密加工设备及配套检测设备，与前次募投项目有所不同 本项目涉及的成熟半导体设备产品中使用到的部分生产设备与前次募投中半导体设备中使用到的生产设备有部分一致

　　产品 产品不同，前次募投项目产品为半导体槽式与单片清洗设备，本项目包括其他种类的设备与零部件产品 本项目生产的部分零部件产品可部分用于前次募投项目中的设备产品

　　技术 本项目炉管、涂胶显影等集成电路设备涉及技术，与前次募投项目湿法清洗设备技术不同 本项目的光伏制绒清洗设备以前次募投的半导体清洗设备的技术为基础，进行再研发并拓展至光伏设备领域。

　　生产工艺 本项目炉管、涂胶显影等集成电路设备涉及生产工艺，与前次募投项目产品湿法清洗设备有部分差异 本项目的炉管设备需要对于先进设备的先进集成和整合能力，涉及到电气系统、软件系统及机械系统等多个子系统，前次募投对于设备产品积累的生产工艺及经验可为炉管设备提供借鉴

　　设备 本项目零部件产品涉及到精密加工设备及配套检测设备，与前次募投项目所需设备有所不同 本项目中涉及的集成电路与泛半导体设备产品中使用到的部分生产设备与前次募投中使用到的生产设备有部分一致

　　（二）公司在前次募投项目尚未实现效益的情况下实施本次募投项目的必要性及主要考虑

　　（1）本项目有助于摆脱对高阶半导体湿法设备核心零部件的进口依赖，推动其国产化进程，提升公司市场竞争力

　　本项目拟研发零部件及模组产品完全适用于 14nm及以下的逻辑芯片及高密度存储芯片的制造工艺及产业化，能够加快实现上述产品的进口替代，推动单片式腔体的国产化进程，项目建成后，将进一步巩固公司半导体湿法设备行业地位，增强公司在高阶半导体湿法设备制造领域的市场竞争力。

　　（2）本项目有助于顺应芯片工艺节点发展趋势，提升在高深宽比条件下湿法工艺模组的技术研发能力

　　本项目目标主要是顺利实现高阶半导体湿法设备工艺模组的研发及产业化。项目实施是公司顺应芯片制造技术发展，满足客户14nm及以下工艺节点需求，推动芯片制造过程中高和极高深宽比清洗工艺技术研发水平，保持公司在半导体清洗技术方面行业地位的重要举措。

　　公司在战略实施上，重点打造湿法工艺联合实验室，和用户、大学一起开发集工艺、装备、材料一体化的特殊清洗工艺的系统解决方案。公司未来将重点放在持续投入新机型研发与工艺技术提升，满足对不断向前演进的制程节点对设备技术的更高要求，缩短与国际竞争对手的差距，降低技术迭代带来的经营风险。同时，将保持并巩固提高对成熟机型的市占率优势，实现产能爬坡与毛利率提升。为实现战略发展目标，公司决定实施本项目来进行先进及成熟单片湿法工艺模组、及其核心零部件的研发及产业化，降低未来经营风险，并寻找公司未来新的盈利增长点。

　　北方生产基地的建设，有助于提高公司产能规模，满足市场增长和产业结构优化的需求，缓解制约公司发展的瓶颈问题，为公司持续快速发展奠定基础。同时，本项目通过对于湿法设备关键零部件创新研发生产，有助于实现国产技术瓶颈的突破，实现零部件进口替代，打破国外供应商垄断，同时提升公司的整体竞争力。

　　（2）本项目借助区位优势建立现代化生产制造基地，可以提升公司智能制造水平

　　本项目可以依托北京经济技术开发区的产业集聚和技术先进优势，通过抢抓区域发展机遇、紧跟区域政策与资本的倾斜趋势，准确把握新一轮科技革命和产业变革趋势，加强战略谋划和前瞻部署，不断推动企业智能制造工艺的创新发展，提升公司智能制造水平，引导企业向高端化、自动化、智能化改造和绿色化、数字化转型，提高关键技术的专业水平，实现提质增效，增强公司的综合竞争实力。

　　本项目主要针对泛半导体行业工艺设备及其核心零部件进行自主生产，有助于实现国产技术瓶颈的突破，实现设备及零部件进口替代，打破外商垄断，对保障我国集成电路供应链安全具有重要意义。

　　本次募投项目建成后，一方面通过建设先进的生产基地进一步提高生产规模，满足日益增长的市场需求；另一方面通过建设产业化基地助力公司新产品线的研发及扩张，进一步强化公司在高端集成电路及泛半导体工艺设备领域的技术优势并丰富产品结构，提高公司产品的科技水平及公司应对行业周期性波动的能力。项目建成后将与公司总部基地形成研发与生产，进一步提高生产规模和产品产能。

　　综上所述，本次募投项目与前次募投项目为完全独立，且对效益进行独立核算的项目，项目在生产设备、生产产品、技术路线、生产工艺等方面有所区别，不存在重复建设的情形。

　　（四）公司前次募投项目与本次募投项目在技术性方面存在先进性差异，是否存在实施后效益不及预期可能性

　　公司前次募投项目中，半导体湿法设备制造项目、半导体湿法清洗设备扩产项目的产品主要为针对28nm及以上成熟制程的槽式与单片式清洗设备产品，下游终端客户涵盖汽车、智能家电以及物联网等领域。该类制程设备目前属于国内晶圆厂主流设备，相关产品已进入量产阶段，随着近几年国内集成电路产业的迅速发展和半导体装备国产替代的迫切需求，下游晶圆厂客户在资本开支环节持续加大投入，公司在手订单金额持续增长，不存在效益不及预期的可能性。

　　本次募投项目涉及的高阶单片湿法工艺模组，主要针对14nm及以下的逻辑芯片及1Xnm存储芯片（DRAM、3D Flash）等先进制程，下游终端客户行业涵盖人工智能、高端消费电子如智能手机、数据中心、5G通信等领域。先进制程下，晶圆加工对杂质容忍度更低，芯片结构复杂度升级，清洗难度大幅增加，单片湿法工艺模组包含的高温化学蚀刻反应的处理技术、晶圆晶边清洗技术、以及SPM高阶制程清洗工艺技术等先进湿法领域技术，可较好地解决先进制程下的晶圆清洗问题。从目前国内集成电路产业发展阶段来看，14nm及以下的制程工艺设备尚处于研发和小批量生产阶段，尚未进入大规模量产，发行人已于募集说明书“第六节 与本次发行相关的风险因素”与“重大事项提示”披露募集资金投资项目效益不及预期的风险。

　　二、结合报告期内系统集成与半导体设备行业发展情况、主要技术路线，公司所处行业地位，本次募投项目主要产品价格、市场供求关系等变化情况、公司在技术、人员、专利等领域的储备情况，说明本次募投项目实施的可行性

　　（一）报告期内系统集成与半导体设备行业发展情况、主要技术路线，公司所处行业地位

　　高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。

　　泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt级别）的干湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放，因此高纯工艺系统在这其中发挥着重要作用。在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。高纯工艺中的特气设备和系统服务于各类干法工艺机台，高纯化学品设备系统服务于各类湿法系统，专用设备和系统和机台的腔体连成一个工作面，对于良率有重要的影响。

　　公司为国内最大的高纯工艺系统支持设备供应商，有效替代并改变了原先由国外气体公司垄断的供给格局。公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固，公司系统集成及支持设备已经能够实现ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，核心技术强于国内竞争者，个别功能超越国际品牌。核心客户均为行业一线集成电路制造企业如中芯国际、华虹、华力、长江存储、合肥长鑫、士兰微等。

　　制程设备方面，公司产品腔体、设备平台设计与工艺技术都和国际一线大厂路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技术，能高效去除微粒子的同时还可以避免兆声波的高成本，是国内能提供到28纳米制程节点全部湿法工艺的本土供应商。

　　芯片制造的技术及工艺发展是半导体湿法设备发展的驱动力，从而释放先进高阶制程半导体湿法设备等产品的巨大需求。清洗步骤数量约占芯片制造工序步骤的30%以上，是芯片制造工艺步骤中占比最大的工序。随着芯片技术节点的不断进步，清洗工序的数量和重要性也将大幅提高，在实现相同芯片制造产能的情况下所需的清洗设备数量也将持续增长，给先进高阶制程清洗设备带来了新增市场需求。同时，湿法工艺模组是湿法设备的重要组件，随着清洗设备的市场规模增长，将进一步带动湿法工艺模组的需求量。

　　公司通过多年的经验积累和技术开发，产品和服务不断完善，积累并服务了一批长期稳定合作的高端客户和合作伙伴。我国北方地区作为我国半导体制造的重要生产基地，公司在各产品线上积累并长期服务了一批稳定优质的高端客户，并且批量订单充足。北方地区的市场前景以及公司在北方地区的客户基础，有助于消化本次投资项目的新增产能，保障项目的顺利实施。

　　公司募投项目中的泛半导体设备可覆盖TOPCon、HJT等市场主流光伏电池生产工艺。我国光伏产能随着企业扩产规划持续增加，行业内企业成长空间广阔。

　　截至本补充法律意见书出具日，公司及控股子公司累计申请专利 840项（其中发明专利369项），已授权专利456项（其中发明专利146项），具备较强的研发实力。

　　公司重点打造湿法工艺联合实验室，和用户、大学一起开发工艺、装备、材料一体化的关于特殊清洗工艺的系统解决方案。公司将建立良好机制，建立国际化的人才团队，打造国际化的技术平台和科学管理的模式，汇集优秀团队。公司成立项目配套研发中心，并协同公司在韩国、日本及中国台湾的技术人员共同进行研发，攻克湿法工艺模组和其他核心零部件技术难题，并形成知识产权。

　　在半导体湿法设备方面，公司已具备生产8-12寸单片式湿法设备和槽式湿法设备的相关技术，能够覆盖晶圆制造中包括先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求，且已经在各细分领域取得一线客户的订单。近年来，公司技术创新成果不断增加，部分机型填补了国产装备在湿法清洗领域的空白。

　　公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固，形成了以高纯工艺介质提纯、调配、输送和处理，以及以不纯物控制为核心的技术体系，公司系统集成及支持设备已经能够实现ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，核心技术强于国内竞争者，个别功能超越国际品牌。目前公司已涵盖系统集成及支持设备及设备的设计、生产、安装调试，配套工程服务及系统维护与检测、厂务托管的全过程，能够为客户提供整体解决方案。

　　另外，公司建立了自主研发的科研创新体系，拥有上海市市级企业技术中心，下设联合实验室，同时旗下设有 2个院士专家工作站（半导体领域和光电子领域）。公司具备高度自主研发水平，实现了设备高度自产，有效控制生产成本。目前公司拥有覆盖气体类系统，化学品系统、液体类系统等多项核心技术产品，多项核心产品处于研发阶段，技术储备充足，且公司研发费用持续增长，研发实力强劲。

　　公司在半导体设备领域已经具备了较强的自主创新研发能力，通过一系列研发项目的实施，具备了持续发展壮大的能力和进一步研发更先进半导体关键装备和技术的重要条件。公司在半导体领域设备的研发、设计和制造中始终强调创新和差异化，在炉管、涂胶显影等半导体设备产品及技术研发的过程中，公司实现了在传送系统、电控系统、射频系统、腔体结构及尾气处理系统等核心工艺的积累和掌握。此外，公司在发展过程中重视对技术人才的培养和激励，持续为不同岗位的人员提供良好的专业技术培训，并通过多种方式鼓励关键人才积极投身技术研发，提高公司核心竞争力。公司技术实力雄厚，核心团队稳定，并且在自主创新、本地化服务、知识管理等方面具有核心竞争力，可以针对市场变化做出快速反应，具备研发新产品及改进现有产品的技术及生产基础。

　　三、结合公司竞争对手产能及扩产安排、意向客户或在手订单、公司业务发展规划、目前主要产品的产能利用率情况、前次募投项目主要产品的产能实现情况等，说明本次新增产能的合理性、新增产能与公司业务发展情况的匹配性、新增产能具体消化措施

　　可比公司 方案公告时间 募集资金到账时间 项目投资金额（万元） 募集投入金额（万元） 募投项目 新增产能

　　80,000.00 73,403.23 高精密电子元器件产业化基地扩产项目（三期） 形成量产22万只高精密石英晶体振荡器和 2,000万只特种电阻的生产能力

　　正帆科技 2023-05-6 尚未到账 35,000.00 35,000.00 铜陵正帆电子材料有限公司特气建设项目（二期）——年产 890吨电子先进材料及30万立方电子级混合气体项目 年产 890吨电子先进材料及30万立方电子级混合气体

　　15,000.00 15,000.00 正帆百泰（苏州）科技有限公司新建生物医药核心装备及材料研发生产基地项目 未披露

　　公司2022年度全年新增订单总额为42.19亿元，同比增长30.62%，其中半导体设备新增订单18.00亿元，同比增长60.71%，截至2022年12月31日，公司在手订单金额为 32.64亿元。2023年度，公司预计新增订单区间在 52-57亿元，其中半导体设备新增订单区间为 20-25亿元，新增订单金额将继续保持增长。

　　本次募投项目是在公司新增订单金额不断增长的背景下进行的投资项目。本次募投项目预计建设期为36个月，除厂房建设外，根据各项目的不同产品还将有产线调试、试生产等环节，上述环节依次完成后方能进入量产阶段，故2023年至2024年的新增订单基本不会由募投项目消化。

　　系统集成业务方面，公司基于目前的市场发展情况，以及自身的行业地位及优势，提前做了产能布局与研发能力的提升，将更有力地响应多类型客户不同需求，预计系统集成及支持设备业务未来将保持稳健增长。半导体设备业务方面，公司未来的发力点有两个角度：一是，深化在湿法清洗设备的研发，针对更先进及特殊制程量产更高阶设备，提前布局，巩固并扩大公司在这一半导体设备品类上的领先地位；二是，公司将基于在多年的设备研发及产业化经验，开拓炉管、涂胶显影及泛半导体领域设备，增加产品线宽度，将生产工艺与研发实力更优化整合，提高整体设备业务竞争力。

　　公司提供的系统集成业务以定制化为特点，不同行业、不同类型客户差异较大，均非标准化产品。公司对于不同项目以销定产，以项目为单位进行整体交付、整体交付验收，因此在现有生产模式下，公司的产能具有一定的弹性。

　　公司半导体设备类产品的生产以设计、装配为主，生产空间内可以制造的设备品类、型号较为多样，且可以按订单需要自主安排，因此较难界定产能的具体数据。公司报告期内半导体设备的产销率情况如下：

　　报告期内，公司2021年、2020年湿法清洗设备产销率均为100%，2022年公司湿法清洗设备产销率小于100%，主要系部分设备处于客户验证阶段，尚未完成销售。

　　综上所述，公司竞争对手近来均有扩产计划，公司在手订单充足，预计2023年订单仍有较快增长，本次新增产能符合公司业务规划，公司目前产能利用率较高，本次新增产能具备合理性，新增产能与公司业务发展情况匹配。

　　针对募投项目新增产能的风险，发行人已在募集说明书之“重大事项提示”之“二、重大风险提示”与“第六节 与本次发行相关的风险因素”披露。

　　集成电路领域，随着信息化、智能化技术的快速发展，半导体芯片及器件产品在半导体照明、新一代移动通信、智能电网、新能源汽车、消费类电子等领域得到广泛应用，集成电路市场规模实现快速增长。美国半导体产业协会（SIA）数据显示，2022年全球半导体销售额达5,735亿美元。尽管下半年销售趋缓，但2022年全球半导体销售额仍同比增长3.2%，高于2021年的5,559亿美元。根据国际半导体设备与材料协会（SEMI）的数据，2021年全球半导体设备市场规模达到1,030亿美元，较2020年增长42.24%，2022年全球半导体设备出货金额达到1,076亿美元，同比增长4.5%，其中中国大陆半导体设备出货金额占比约26.3%。

　　根据SEMI报告显示，中国大陆、中国台湾和韩国在2022年仍是设备支出的前三大目的地。中国大陆在继 2020年首次占据榜首后，2023年将保持在这个位置。根据浙商证券统计数据显示，2022年中国大陆共有23座12英寸晶圆厂正在投产，总计月产能约为104.2万片，与总规划月产能156.5万片相比，产能装载率仅66.58%。预计中国大陆 2022-2026年还将新增 25座 12英寸晶圆厂，总规划月产能超过160万片，预计截至2026年底，中国大陆12英寸晶圆厂的总月产能将超过276.3万片，相比目前提高165.1%。

　　发行人通过多年的经验积累和技术开发，产品和服务不断完善，在泛半导体、光纤通信、生物医药等行业中形成了良好的口碑和信誉，积累了一批头部客户和合作伙伴，且基本为各自行业的领军企业或主要企业。目前发行人主要业务聚焦集成电路领域，根据市场动态及行业客户需求，提供围绕下游客户建设投产期与稳定运营期的制程设备、系统集成及支持设备及由此衍生出来的电子材料、专业服务等。核心客户均为国内知名企业，如上海华力、中芯国际、长江存储、合肥长鑫、士兰微、西安三星、无锡海力士、北京燕东、TI、华润微等。

　　发行人的客户基础有助于顺利消化本次投资项目的新增产能，保障项目的顺利实施。

　　发行人积累了深厚的技术储备，始终沿着国内先进制造业的发展方向，持续高水平的研发投入，追踪最新的技术趋势和客户需求进行产品开发和优化。

　　系统集成业务方面，发行人已成功完成了多项高纯工艺系统核心设备及相关控制软件的研发，通过使用自制设备与软件替代外购，发行人工艺水平已能够实现ppb（十亿分之一）级的不纯物控制，获得了客户的广泛认可。发行人在高纯工艺系统领域已经形成从研发、设计、制造到完整供应链的较强竞争优势。

　　半导体设备方面，发行人产品腔体、设备平台设计与工艺技术都和国际一线大厂路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技术，能高效去除微粒子的同时还可以避免兆声波的高成本，是国内能提供到28nm制程节点全部湿法工艺的本土供应商，单片式、槽式湿法设备得到客户认可。发行人12英寸单片湿法清洗设备和槽式湿法设备将有效代表本土品牌参与到中国大陆和中国大陆以外高端清洗设备市场的竞争，发行人单片湿法设备多工艺已通过验证并交付。

　　综上所述，发行人募投项目新增产能规模合理，有足够的市场空间确保本次募投项目新增产能可以被合理消化。

　　四、上述募投项目土地权证办理情况，预计取得时间，是否存在办理障碍，相关不利因素是否可能影响本次项目顺利实施，是否已充分提示相关风险

　　截至本补充法律意见书出具日，募投项目“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”和“启东半导体装备产业化基地二期项目”已取得土地权证，“至纯湿法清洗设备及高纯工艺设备北方产业基地项目”相关土地权属证书正在办理中，具体情况如下：

　　截至本补充法律意见书出具日，发行人已取得该募投项目土地的不动产权证书，主要情况如下：

　　权属证书编号 权利人 共有情况 权利类型 权利性质 用途 宗地面积 使用期限 发证时间

　　截至本补充法律意见书出具日，江苏系统集成已取得该募投项目土地的不动产权证书，主要情况如下：

　　权属证书编号 权利人 共有情况 权利类型 权利性质 用途 宗地面积 使用期限 发证时间

　　截至本补充法律意见书出具日，该项目相关土地已完成招拍挂程序、已签署土地出让合同，相关土地权属证书正在办理中，具体情况如下：

　　2022年 7月28日，至纯北京缴纳该项目地块竞买保证金。2022年8月1日，北京经济技术开发区开发建设局（以下简称“开发区建设局”）发布了《出让公告》，挂牌编号为京开国土挂[2022]7号，地块名称为北京经济技术开发区亦庄新城 0606街区YZ00-0606-0054地块工业项目用地，土地总面积为15,975.8平方米，土地用途为工业。2022年 8月 15日，开发区建设局出具了《成交确认书》，确认至纯北京竞得上述土地使用权。

　　至纯北京已于2022年9月9日与开发区建设局签订《国有建设用地使用权“先租后让、达产出让”合同》，约定至纯北京以挂牌方式租赁北京经济技术开发区亦庄新城0606街区YZ00-0606-0054地块，租赁期限5年，至纯北京缴纳的竞买保证金冲抵 5年用地租金。租赁期限届满，至纯北京满足达产考核标准后，可申请办理租赁国有建设用地使用权转为出让国有建设用地使用权手续。

　　4.土地权证预计取得时间，是否存在办理障碍，相关不利因素是否可能影响本次项目顺利实施

　　截至本补充法律意见书出具日，该项目相关土地已完成招拍挂程序、已签署土地出让合同，相关土地权属证书正在办理中。

　　根据开发区建设局、北京经济技术开发区营商合作局的回复与说明，该项目未取得土地使用权证不影响项目建设工程规划许可证和建筑工程施工许可证的办理，不会影响该项目顺利实施，具体情况如下：

　　至纯北京于2023年6月6日向开发区建设局发出《关于至纯湿法清洗设备及高纯工艺设备北方产业基地项目地块的情况说明》，开发区建设局于2023年6月12日确认如下：“本项目地块因政府信息系统显示原因，导致暂时无法办理国有建设用地土地使用权证，但不影响该项目建设工程规划许可证和建筑工程施工许可证的办理。待政府信息系统问题解决后，至纯北京可正常办理国有建设用地土地使用权证，在未取得土地使用权证前，可按相应程序进行该项目工程的报规报建。”

　　北京经济技术开发区营商合作局于2023年6月12日出具《关于至纯湿法清洗设备及高纯工艺设备北方产业基地项目地块的情况说明》，确认如下：“后续在符合国家及北京市相关要求情况下，至纯北京无法办理国有建设用地土地使用权证的，我局将积极协助至纯北京在北京经济技术开发区取得其他土地，保障本项目实施。”

　　综上所述，截至本补充法律意见书出具日，该项目相关土地已完成招拍挂程序、已签署土地出让合同，该项目地块因政府信息系统显示原因，土地使用权证正在办理中。根据相关行政机关的说明和确认，该项目土地的不动产权证书不存在办理障碍；同时，若无法取得不动产权证书，行政机关将协调其他土地予以替代，不会影响该项目的顺利实施。

　　经本所律师核查，针对上述“至纯湿法清洗设备及高纯工艺设备北方产业基地项目”用地手续尚未办理完毕的风险，发行人已在《募集说明书》“重大事项提示”之“二、重大风险提示”与“第六节 与本次发行相关的风险因素”披露。

　　综上所述，截至本补充法律意见书出具日，发行人本次发行的募投项目之“单片湿法工艺模组、核心零部件研发及产业化项目”和“启东半导体装备产业化基地二期项目”已取得项目土地的不动产权证书；“至纯湿法清洗设备及高纯工艺设备北方产业基地项目”相关土地权属证书正在办理中，相关行政机关确认至纯北京取得该项目土地的不动产权证书不存在办理障碍，如因难以预计的原因无法取得不动产权证书，相关行政机关将协调其他土地予以替代，不会影响本项目顺利实施。发行人已在《募集说明书》中对募投项目土地权属证书尚未取得的风险进行了充分提示。

　　五、公司及控股、参股子公司是否从事房地产业务，本次募集资金是否投向房地产相关业务，公司主营业务及本次募投项目是否符合国家产业政策

　　《中华人民共和国城市房地产管理法（2019年修正）》第三十条规定，“房地产开发企业是以营利为目的，从事房地产开发和经营的企业。”《城市房地产开发经营管理条例》第二条规定，“本条例所称房地产开发经营，是指房地产开发企业在城市规划区内国有土地上进行基础设施建设、房屋建设，并转让房地产开发项目或者销售、出租商品房的行为。”《房地产开发企业资质管理规定》第三条规定，“房地产开发企业应当按照本规定申请核定企业资质等级。未取得房地产开发资质等级证书（以下简称资质证书）的企业，不得从事房地产开发经营业务。”根据上述规定并经本所律师核查，发行人控股公司、参股子公司不存在从事房地产业务的情形，具体情况如下：

　　根据发行人提供的资料并经本所律师核查，截至本补充法律意见书出具日，发行人控股、参股子公司均未取得房地产开发经营相关业务资质。

　　2.行政机关登记的经营范围中涉及房地产相关内容的发行人控股、参股子公司均未从事房地产开发经营业务

　　截至本补充法律意见书出具日，发行人控股、参股子公司中，存在上海波汇信息科技有限公司（以下简称“波汇信息”）、至纯（浙江）企业管理服务有限公司（以下简称“至纯企业管理”）、合肥至汇半导体应用技术有限公司（以下简称“合肥至汇”）、江苏启微半导体设备有限公司（以下简称“江苏启微”）4家公司经营范围涉及房地产相关内容，但上述子公司均未从事房地产开发经营业务，除此之外，发行人其他控股、参股子公司经营范围不涉及房地产相关内容，具体情况如下：

　　1 至纯科技（北京）有限公司 技术开发、技术服务、技术咨询、技术转让。（集中办公区时限至2023年5月17日。）（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。） 否

　　2 上海紫锡光学技术有限公司 一般项目：从事光电技术、半导体科技、电子科技、工业自动化科技、计算机科技领域内的技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件销售；电力电子元器件销售；光通信设备销售；通讯设备销售；集成电路芯片及产品销售；电子产品销售；软件开发；知识产权服务；货物进出口；技术进出口（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 否

　　3 淄博至芯应用技术开发有限公司 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；配电开关控制设备制造；工业自动控制系统装置制造；计算机系统服务；计算机软硬件及辅助设备批发；计算器设备制造；金属材料制造（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　4 天津波汇光电技术有限公司 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；光电子器件制造；光电子器件销售；光通信设备制造；光通信设备销售；集成电路芯片及产品制造；集成电路芯片及产品销售；其他电子器件制造；电子元器件批发。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 许可项目：货物进出口；技术进出口。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）。 否

　　5 上海至纯电子科技有限公司 一般项目：从事电子科技、半导体科技、工业自动化科技、计算机科技、光电科技领域内的技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件销售；电力电子元器件销售；电子专用材料销售；实验分析仪器销售；电子专用材料研发；家用电器研发；工业控制计算机及系统销售；工业自动控制系统装置销售；电子元器件批发；电子元器件零售；信息技术咨询服务；信息系统集成服务；计算器设备销售；集成电路销售；合成材料销售；软件开发；光电子器件制造；光电子器件销售；半导体照明器件制造；集成电路芯片及产品制造；光通信设备制造；通信设备制造；电力电子元器件制造；电子专用材料制造；会议及展览服务；集成电路芯片及产品销售；半导体照明器件销售；仪器仪表制造；智能仪器仪表销售；工业自动控制系统装置制造；普通机械设备安装服务；电子产品销售；机械设备销售；办公设备销售；物联网技术服务；物联网技术研发；知识产权服务；网络设备销售；物联网设备销售；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　6 长沙至纯应用科技有限公司 电子技术服务；电子技术研发；电子技术咨询；生物技术开发服务；生物技术咨询、交流服务；生物技术转让服务；环保技术研发；环保技术开发服务；电子技术转让；环保技术咨询、交流服务；环保技术转让服务；计量器具销售；计量检定校准；计量器具修理；光纤制造；光纤设备销售；半导体器件专用设备制造；水处理系统的运行及维护；水处理技术咨询服务；机电设备销售；通信设备销售；仪器仪表批发；计算机销售；计算机零配件批发；计算机零配件零售；建筑材料销售；不锈钢制品批发；不锈钢制品零售；水处理设备的安装；机械设备的研发；货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）；计量器具制造。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　7 上海砺致科技有限公司 一般项目：从事半导体设备、互联网科技、生物工程、网络科技、环保科技、新能源科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务（人体干细胞、基因诊断与治疗技术开发和应用除外），半导体设备的技术开发、设计与销售，货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　8 至一高纯电子材料（上海）有限公司 集成电路应用及泛半导体领域相关材料的研发、设计、生产、销售，并提供相关的技术服务与技术咨询，电子材料科技领域内、新材料科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务，货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动。） 否

　　9 合肥至汇半导体应用技术有限公司 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；配电开关控制设备制造；配电开关控制设备销售；机械零件、零部件加工；机械零件、零部件销售；电子专用材料销售；计算机软硬件及外围设备制造；信息技术咨询服务；非居住房地产租赁；居民日常生活服务；技术进出口；货物进出口（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目） 否

　　10 至微半导体（上海）有限公司 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；专业设计服务；工业设计服务；计算机软硬件及辅助设备批发；计算机软硬件及辅助设备零售；机械零件、零部件加工；机械零件、零部件销售；集成电路芯片及产品制造；集成电路芯片及产品销售；电子专用材料研发；电子专用材料销售；工业控制计算机及系统制造；工业控制计算机及系统销售；计算机软硬件及外围设备制造；机械设备研发；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　11 合肥至微微电子有限公司 一般项目：专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；机械零件、零部件加工；机械零件、零部件销售；光电子器件制造；光电子器件销售；光伏设备及元器件制造；光伏设备及元器件销售；计算机软硬件及外围设备制造；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；集成电路芯片及产品制造；集成电路芯片及产品销售（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目） 许可项目：技术进出口；货物进出口（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　12 合肥至微半导体有限公司 从事半导体科技、工业自动化科技、电子科技、网络科技、计算机科技、光电科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让；自营和代理各类商品及技术的进出口业务（国 家限定企业经营或禁止进出口的商品和技术除外）；半导体设备、计算机及辅助设备的设计、制造及销售。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　13 江苏启微半导体设备有限公司 一般项目：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；机械设备销售；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；机械设备研发；通用设备制造（不含特种设备制造）；计算机软硬件及辅助设备批发；计算机软硬件及辅助设备零售；计算机软硬件及外围设备制造；工业控制计算机及系统制造；工业控制计算机及系统销售；工业自动控制系统装置制造；工业自动控制系统装置销售；配电开关控制设备制造；配电开关控制设备销售；配电开关控制设备研发；建筑装饰材料销售；金属材料销售；塑料制品销售；化工产品销售（不含许可类化工产品）；信息技术咨询服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；技术进出口；货物进出口；非居住房地产租赁；物业管理（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　14 南通至纯电子材料有限公司 电子材料科技领域内、新材料科技领域内的技术研发、技术咨询、技术转让服务，金属制品、陶瓷制品、一般化工产品销售，纯批发经营易制爆化学品：硝酸，其他危险化学品：氢溴酸、氢氟酸〔含氨＞10％〕、四甲基氢氧化铵、2－丙醇、硅酸四乙酯、氢氧化钠、氢氧化钠溶液〔含量≥30％〕、氢氧化钾、氢氧化钾溶液〔含量≥30％〕、三氟化氮、六氟化钨、氨、三氯化硼、一氧化碳、二氧化碳［压缩的或液化的］、一氧化二氮［压缩的或液化的］、甲硅烷、六氟化硫、三甲基铝、三甲基硼、二氯硅烷、四氟化硅、氖［压缩的或液化的］、氪［压缩的或液化的］、氙［压缩的或液化的］、氩［压缩的或液化的］、氦［压缩的或液化的］、氮［压缩的或液化的］、氢、氧［压缩的或液化的］、四氟甲烷、六氟乙烷、八氟环丁烷、三氟甲烷、三氟化硼、三氟化氯、锗烷、四氯化硅、三溴化硼、二乙基锌、四氯化钛、硫化氢、氟甲烷、三氯硅烷、一氧化氮、三氯化磷、溴甲烷、硒化氢［无水］、丙烷、碘化氢［无水］、正磷酸、1-溴丙烷、2-溴丙烷、溴乙烷、1-溴丁烷、2-溴丁烷、溴、乙醇［无水］、甲醇、二氧化硫、盐酸、硫酸（不得超范围经营危险化学品；经营场所不得储存危险化学品），自营和代理一般经营项目商品和技术的进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　15 上海至渊科技有限公司 从事工业自动化科技、电子科技、网络科技、光电科技、生物科技专业领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让，机电设备、自动化成套设备、通信设备（除卫星电视广播地面接收设施）、机械设备及配件、制冷设备、空调设备、气动液压设备、实验室设备、办公设备、电子产品及配件、电器设备、仪器仪表、光学仪器、五金交电、刃具、模具、电线电缆、金属密封件、紧固件、高低压电器、电器成套设备。计算机、软件及辅助设备的销售，从事货物及技术的进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活 动） 否

　　16 驭航信息技术（上海）有限公司 计算机信息技术领域内技术服务、技术开发、技术咨询、技术转让，计算机网络工程施工，计算机软件开发，商务信息咨询，计算机安装。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　17 上海至纯系统集成有限公司 许可项目：各类工程建设活动。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） 一般项目：从事信息系统集成服务，工业自动化科技、电子、网络科技、计算机科技、光电科技、光纤、生物半导体、生物工程、环保科技及计量校准科技专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务，水处理系统及洁净室厂房的设计、安装、技术咨询服务，机电产品、机电设备、自动化设备、通信设备及相关产品、仪器仪表、计算机及配件、软件及辅助设备、建筑材料、不锈钢制品、金属材料、塑料制品、化工原料及产品（除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品）、及计量器具的销售，机电设备安装（除专控），机械设备的生产、设计及加工，特气柜、特气阀组箱、化学品集中供应系统和化学品阀组箱的生产及安装，从事货物及技术的进出口业务，质检技术服务，计量器具修理，建筑劳务分包。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　18 上海至纯精密气体有限公司 许可项目：各类工程建设活动；货物进出口；技术进出口；建筑劳务分包（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） 一般项目：气体、液体分离及纯净设备制造；气体、液体分离及纯净设备销售；大气污染监测及检测仪器仪表制造；环境监测专用仪器仪表制造；基础化学原料制造（不含危险化学品等许可类化学品的制造）；普通机械设备安装服务；专业设计服务；专用化学产品制造（不含危险化学品）；机械设备研发；电机制造；机械设备销售；通用设备修理；专用设备修理；机械设备租赁；工程管理服务；化工产品销售（不含许可类化工产品）；人力资源服务（不含职业中介活动、劳务派遣服务）；信息技术咨询服务；计算机系统服务；信息系统集成服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 否

　　19 上海至嘉半导体气体有限公司 一般项目：半导体照明器件销售；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件销售；信息系统集成服务；智能控制系统集成；工业自动控制系统装置销售；电子元器件批发；电子元器件零售；电子专用设备销售；电子专用材料销售；电子产品销售；网络设备销售；网络与信息安全软件开发；网络技术服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；计算机系统服务；智能家庭消费设备销售；光电子 器件销售；光纤销售；工程和技术研究和试验发展；环保咨询服务；终端计量设备销售；计量技术服务；水质污染物监测及检测仪器仪表销售；气体、液体分离及纯净设备销售；专业设计服务；工业设计服务；平面设计；普通机械设备安装服务；家用电器安装服务；电子元器件与机电组件设备销售；机械电气设备销售；机械设备销售；通用设备修理；专用设备修理；建筑材料销售；日用品销售；金属结构销售；金属材料销售；塑料制品销售；专用化学产品销售（不含危险化学品）；生物化工产品技术研发；人力资源服务（不含职业中介活动、劳务派遣服务）；工程管理服务；化工产品销售（不含许可类化工产品）；信息技术咨询服务；货物进出口；技术进出口；租赁服务（不含许可类租赁服务）；机械设备租赁。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）许可项目：建设工程施工。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） 否

　　20 上海至纯精密制造有限公司 许可项目：货物进出口；技术进出口（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） 一般项目：从事精密制造、机电科技领域内的技术研发、技术转让、技术咨询、技术服务；机械设备研发；机械设备销售；半导体器件专用设备制造；半导体照明器件销售；集成电路设计；专业设计服务；建筑工程用机械销售；五金产品零售；建筑材料销售；机床功能部件及附件销售；金属材料销售；化工产品销售（不含许可类化工产品）；电子专用设备销售；电子产品销售；仪器仪表销售；塑料制品销售；金属制品销售；家用电器销售；机械设备租赁（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 否

　　21 上海至纯半导体设备有限公司 许可项目：货物进出口（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） 一般项目：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；集成电路设计；集成电路制造；集成电路销售；集成电路芯片及产品制造；集成电路芯片及产品销售；环境保护专用设备制造；环境保护专用设备销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；计算机软硬件及辅助设备零售；电子、机械设备维护（不含特种设备）；五金产品零售；电子元器件零售；机械零件、零部件销售；塑料制品销售；电子元器件与机电组件设备销售（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 否

　　22 上海至纯光电设备有限公司 一般项目：电子专用设备制造；电子专用设备销售；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；机械设备研发；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；机械设备租赁；电子产品销售；电力电子元器件销售；机械电气设备销售；通讯设备销售；家用电器销售；阀门和旋塞销售；金属制品销 售；金属链条及其他金属制品销售；机械设备销售；机械零件、零部件销售；制冷、空调设备销售；液压动力机械及元件销售；办公设备销售；仪器仪表销售；光学仪器销售；金属工具销售；模具销售；密封件销售；紧固件销售；计算机软硬件及辅助设备零售；普通机械设备安装服务；工业机器人制造；工业机器人安装、维修；工业机器人销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；技术进出口；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；供应链管理服务；招投标代理服务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　23 江苏至纯系统集成有限公司 许可项目：建设工程设计；建筑劳务分包；货物进出口；技术进出口；特种设备制造；特种设备设计；特种设备安装改造修理（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准）一般项目：信息系统集成服务；智能控制系统集成；电子元器件与机电组件设备制造；工程管理服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子元器件制造；电子元器件批发；工业自动控制系统装置制造；工业自动控制系统装置销售；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；气体、液体分离及纯净设备制造；气体、液体分离及纯净设备销售；特种设备销售；电子、机械设备维护（不含特种设备）；特种作业人员安全技术培训；电子专用材料制造；电子专用材料销售；机械设备销售；机械设备研发；机械电气设备制造；通用设备制造（不含特种设备制造）；机械电气设备销售（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　24 广州市浩鑫洁净工程技术有限公司 通用设备修理；电气设备零售；金属压力容器制造；其他金属加工机械制造；制药专用设备制造；工业设计服务；食品、酒、饮料及茶生产专用设备制造；日用化工专用设备制造；商业、饮食、服务专用设备制造；机械零部件加工；机械工程设计服务；机械技术咨询、交流服务；工程技术咨询服务；机电设备安装服务；无损检测；电气机械检测服务；销售本公司生产的产品（国家法律法规禁止经营的项目除外；涉及许可经营的产品需取得许可证后方可经营）；电气设备批发；金属制品批发；管道运输设备批发；通用机械设备零售；机械配件零售；货物进出口（专营专控商品除外） 否

　　25 珐成制药系统工程（上海）有限公司 制药、食品、化妆品、精细化工专用设备及其配套相关设施的设计、安装、调试、技术咨询和销售；管道工程，机电设备安装工程（以上除特种设备），机电设备，环保设备，自动化控制设备，从事货物及技术的进出口业务，计算机软硬件（除计算机信息系统安全专用产品），办公设备销售。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　26 上海天鼎通用设备有限公司 化工设备、水处理设备、机电设备、食品机械、冷作钣金加工、批发、零售，日用百货、办公用品、五金交电的批发、零售。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营 活动） 否

　　27 上海鸿宝医疗器械有限公司 一类医疗器械、系列化冷冻真空干燥机、化工设备、制药设备、环保设备、第一类低压容器、第二类低、中压容器生产、保健净化装置产品生产，五金交电、日用百货、钢材批发、零售，从事货物进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　28 上海至临半导体技术有限公司 一般项目：从事半导体科技、电子科技、工业自动化科技、计算机科技、光电科技领域内的技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件销售；电力电子元器件销售；光通信设备销售；通讯设备销售；集成电路芯片及产品销售；电子产品销售；软件开发；知识产权服务；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　29 上海波汇科技有限公司 许可项目：输电、供电、受电电力设施的安装、维修和试验；建设工程施工；施工专业作业；货物进出口；技术进出口。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） 一般项目：光通信技术、激光技术、光电工程及其应用技术、光机电一体化的器件、设备、仪器仪表、光机电一体化工程的研发；光通信设备制造；仪器仪表制造；机械电气设备制造；通用设备制造（不含特种设备制造）；集成电路制造；电力设施器材制造；工业自动控制系统装置制造；安防设备制造；光电子器件制造；电子元器件制造；物联网设备制造；环境监测专用仪器仪表制造；信息系统集成服务；智能控制系统集成；物联网科技、计算机科技、智能化科技、自动化科技的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务；安全技术防范系统设计施工服务；电子产品、机电设备、智能化产品的设计、研发、销售，数据处理服务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　30 无锡波汇光电科技有限公司 传感网、物联网的技术研发；计算机软硬件的研发、销售及服务；系统集成。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　31 平湖波汇通信科技有限公司 光传感技术、光电工程应用技术的研发，光机电一体化设备、仪器仪表的研发、制造、销售、安装、调试及其技术咨询服务；从事各类商品及技术的进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　32 上海紫珊光电技术有限公司 光电产品、电子产品的开发、生产以及相关的技术咨询服务；销售自产产品，光电产品、电子产品的批发，从事货物及技术的进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　33 上海波汇信息科技 有限公司 从事信息、通信、光电科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让，机电设备、仪器仪表的研发及销售，计算 机软件开发及销售，从事货物及技术的进出口业务，自有房屋租赁，物业管理。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　34 上海波汇软件有限公司 软件的开发、设计、制作、销售及相关的技术咨询和技术服务，电子产品的销售，网络工程。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　35 合波光电通信科技有限公司 光学镀膜产品、光缆的研发、设计、生产和销售；光伏发电。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　36 浙江合波光学科技有限公司 激光元器件、模块的设计、生产和销售。上述产品的批发及进出口业务。以上商品进出口不涉及国营贸易、进出口配额许可证、出口配额招标、出口许可证等专项管理的商品。 否

　　37 武汉瑞芯科技有限责任公司 封装元器件及光电产品的研发、生产及销售；货物进出口、技术进出口、代理进出口（不含国家禁止进出口的货物及技术）。（上述经营范围中国家有专项规定的项目经审批后或凭许可证在核定期限内经营） 否

　　38 安徽波汇智能科技有限公司 光通信技术、激光技术、光电工程及其应用技术、光机电一体化的器件、设备、仪器仪表、光机电一体化工程的研发、生产、销售；自有技术成果的转让；计算机软件的开发、设计、制作、销售；提供以上相关技术咨询及技术服务；计算机系统集成的设计、安装调试及维护；消防工程设计与施工；安全技术防范工程、建筑智能化工程设计与施工；机电一体化设计与施工；智能化科技、电力科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务；光机电一体化的器件、设备、仪器仪表的批发。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　39 山西波汇信息技术有限公司 光通信技术、激光技术的开发、咨询、转让及服务；光电工程设计与施工及其应用技术、光机电一体化的器件、设备、仪器仪表、光机电一体化工程的研发；自有技术成果的转让；计算机软件的开发、设计、制作；销售自产产品；计算机系统集成的设计、安装调试及维护；消防工程设计与施工；建筑施工：安全技术防范工程、建筑智能化工程设计与施工；机电一体化设计与施工；智能化科技、电力科技领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服务；光机电一体化的器件、设备、仪器仪表的批发。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）。 否

　　40 北京中电鸿宇科技有限公司 技术开发、技术推广、技术咨询、技术转让；软件开发；销售开发后的产品、机械设备；货物进出口、代理进出口、技术进出口。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。） 否

　　41 上海至纯合金制造 有限公司 许可项目：货物进出口；技术进出口（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部 门批准文件或许可证件为准） 一般项目：金属表面处理及热处理加工；电镀加工；机械零件、零部件加工；金属加工机械制造；气压动力机械及元件制造；通用零部件制造；通用设备制造（不含特种设备制造）；核电设备成套及工程技术研发；液压动力机械及元件销售；电子专用设备制造；普通阀门和旋塞制造（不含特种设备制造）；密封件制造（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 否

　　42 上海至衍私募基金管理有限公司 一般项目：私募股权投资基金管理（须在中国证券投资基金业协会完成登记备案后方可从事经营活动）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 否

　　43 浙江至纯精密制造有限公司 一般项目：通用零部件制造；机械零件、零部件加工；金属结构销售；金属材料销售；金属材料制造；特种设备销售；通用设备制造（不含特种设备制造）；工业自动控制系统装置制造；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；泵及真空设备销售；泵及真空设备制造；电力电子元器件制造；金属结构制造；有色金属压延加工（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 否

　　44 珐成制药设备（浙江）有限公司 一般项目：制药专用设备制造；制药专用设备销售；软件开发；日用品生产专用设备制造；工业自动控制系统装置销售；电气设备销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；商业、饮食、服务专用设备销售；软件销售；办公设备销售（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 否

　　45 南通至远启行半导体产业投资基金（有限合伙） 一般项目：创业投资（限投资未上市企业）；股权投资（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　46 至纯科技有限公司（ PNC Technolog y Co.,Limited） 电子、泛半导体、生物及医药、计量器具、环保等领域销售 否

　　48 香港波汇通信科技有限公司 机电一体化的器材、设备、仪表仪器的研制和销售及相关的技术咨询和技术服务，电子产品的销售，网络工程 否

　　52 凯尔迪科技股份有限公司 其他机械制造业、机械安装业、电子材料批发业、机械批发业、污染防治设备批发业、国际贸易业、其他光学及精密器械制造业、光学仪器制造业、机械设备制造业、电子零组件制造业、电子材料销售业 否

　　54 上海艾璞思精密设备有限公司 一般项目：电子专用设备制造；电器辅件制造；轴承、齿轮和传动部件制造；轴承、齿轮和传动部件销售；电器辅件销售；电子专用设备销售；密封件制造；电子元器件制造；通用设备制造（不含特种设备制造）；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；新材料技术研发；机械设备销售；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；机械设备研发；机械设备租赁；租赁服务（不含许可类租赁服务）；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；专业设计服务；五金产品制造；五金产品零售；五金产品研发；化工产品生产（不含许可类化工产品）；普通机械设备安装服务；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　55 至纯（浙江）企业管理服务有限公司 一般项目：企业管理；企业管理咨询；安全咨询服务；信息咨询服务（不含许可类信息咨询服务）；物业管理；园区管理服务；非居住房地产租赁；工程管理服务；通用设备修理（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 否

　　56 北京至微半导体有限公司 一般项目：半导体分立器件制造；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；工业设计服务；专业设计服务；计算机软硬件及辅助设备零售；机械零件、零部件加工；机械零件、零部件销售；集成电路芯片及产品销售；集成电路 芯片及产品制造；电子专用材料研发；电子专用材料销售；货物进出口；技术进出口；进出口代理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）（不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。） 否

　　1 江苏欧讯能源科技有限公司 海上风力发电专业技术研发；电子计算机及外围设备、通信设备研发、设计、制造、销售、维护；计算机软件开发、设计；信息系统集成服务；电子系统工程设计、技术咨询；电子工程安装服务；智能化安装工程服务；自营和代理各类商品和技术的进出口业务（国家限定企业经营或禁止进出口的商品和技术除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 许可项目：测绘服务；建设工程勘察（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准） 一般项目：消防器材销售；消防技术服务；安防设备销售；安全技术防范系统设计施工服务；安全系统监控服务；数字视频监控系统销售；对外承包工程；普通机械设备安装服务（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　2 梅威斯电气技术（上海）有限公司 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；发电技术服务；储能技术服务；节能管理服务；输配电及控制设备制造；软件开发；互联网数据服务；在线能源监测技术研发；人工智能理论与算法软件开发；合同能源管理；光伏设备及元器件制造；光伏设备及元器件销售；智能输配电及控制设备销售；变压器、整流器和电感器制造；电子产品销售；电池制造；电池销售；站用加氢及储氢设施销售；风力发电技术服务；发电机及发电机组销售；电机制造；风力发电机组及零部件销售；新能源汽车换电设施销售；汽车零部件及配件制造；新能源汽车电附件销售；充电桩销售；新能源原动设备制造；新能源原动设备销售；电力电子元器件制造；电力电子元器件销售；配电开关控制设备制造；配电开关控制设备销售；配电开关控制设备研发；计算机软硬件及辅助设备批发；计算机软硬件及辅助设备零售；先进电力电子装置销售；机械电气设备制造；机械电气设备销售；通信设备制造；通讯设备销售；电子元器件制造；电子元器件零售；电子（气）物理设备及其他电子设备制造；电子测量仪器制造；电子测量仪器销售；机械设备销售；机械设备研发；智能家庭消费设备制造；智能家庭消费设备销售；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；仪器仪表制造；仪器仪表销售；制冷、空调设备制造；制冷、空调设备销售；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经 营活动） 许可项目：发电业务、输电业务、供（配）电业务；建设工程施工；电气安装服务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准） 否

　　3 宁波宇微投资合伙企业（有限合伙） 实业投资，投资管理，投资咨询。（未经金融等监管部门批准不得从事吸收存款、融资担保、代客理财、向社会公众集（融）资等金融业务） 否

　　4 宁波宇微行至创业投资合伙企业（有限合伙） 一般项目：创业投资。（未经金融等监管部门批准不得从事吸收存款、融资担保、代客理财、向社会公众集（融）资等金融业务）（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 否

　　5 浙江镨芯电子科技有限公司 一般项目：电子科技领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务；电子产品的销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　6 青岛海丝民合半导体投资中心（有限合伙） 以自有资金进行股权投资、投资管理（未经金融监管部门批准，不得从事吸收存款、融资担保、代客理财等金融业务）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动） 否

　　7 上海果纳半导体技术有限公司 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；普通机械设备安装服务；通用设备修理；软件开发；电子产品销售；机械电气设备销售；仪器仪表销售；机械零件、零部件加工；机械零件、零部件销售；光伏设备及元器件制造；光伏设备及元器件销售；机械电气设备制造；技术进出口；货物进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　8 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 一般项目：集成电路芯片设计及服务；集成电路芯片及产品制造；集成电路芯片及产品销售；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；机械设备租赁；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　9 上海稷以科技有限公司 一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电子专用设备制造；电子专用设备销售；电子元器件制造；电子元器件零售；电子产品销售；机械设备研发；电子专用材料研发；集成电路设计；集成电路制造；集成电路销售；软件开发。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动） 否

　　10 西藏禹泽投资管理有限公司 投资管理（不含金融和经纪业务）；股权投资管理；资产管理（不含金融资产管理和保险资产管理）；财务咨询（不得从事代理记账）、商务咨询、企业管理咨询。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可经营该项目。） 否

　　11 芯链融创 集成电路产业发展（北京）有限公司 与集成电路、半导体技术有关的技术开发、技术服务、技术转 让、技术咨询、技术检测；产品设计；设备租赁。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。） 否

　　12 长江先进存储产业创新中心有限责任公司 先进存储技术及相关产品的研究、开发、设计、检验、检测、制造、销售；科技企业的孵化、技术咨询、技术服务、技术转让；知识产权研究及服务；企业管理咨询；先进存储系统解决方案咨询、设计；货物进出口、技术进出口、代理进出口（不含国家禁止或限制进出口的货物或技术）。（涉及许可经营项目，应取得相关部门许可后方可经营） 否

　　13 中能瑞通（北京）科技有限公司 技术转让、技术咨询、技术服务、技术开发；专业承包、施工总承包；产品设计；软件开发；计算机系统服务；经济信息咨询（不含中介）；销售机械设备、日用品、安全技术防范产品、通信设备、计算机、软硬件及辅助设备、仪器仪表、电子产品、五金交电（不含电动自行车）、灯具、家用电器、锁具；云计算中心（仅限 PUE值在 1.4以下的云计算）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；通信设备租赁；工程勘察；工程设计。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；工程勘察、工程设计以及依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。） 否

　　14 合肥溯慈企业管理合伙企业（有限合伙） 一般项目：企业管理；社会经济咨询服务（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目） 否

　　15 贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司 法律、法规、国务院决定规定禁止的不得经营；法律、法规、国务院决定规定应当许可（审批）的，经审批机关批准后凭许可（审批）文件经营；法律、法规、国务院决定规定无需许可（审批）的，市场主体自主选择经营。（从事三氯氧磷、红磷、五氧化二磷等磷。