一块看似光洁的玻璃片在光学3D表面轮廓仪的镜头下，竟神似凹凸不平的丘陵。在白光干涉技术的扫描下，软件对玻璃表面3D图像进行数据处理与分析，显示从最凹处低点到最凸处高点的距离居然有60纳米。

　　“我们还测量过高低点仅相距0.1纳米的表面材料，不同光洁度的材料可以在一些特殊领域大展拳脚。”深圳市中图仪器股份有限公司副总经理张和君说。

　　纤毫之间见线”产业集群中的一员，深圳市精密仪器设备产业已初具规模，一批代表企业成长为所在领域的佼佼者。伴随《深圳市培育发展精密仪器设备产业集群行动计划(2022—2025年)》(以下简称《行动计划》)的发布，补短板、强攻关、塑品牌、搭平台、活生态的脚步更趋稳健。

　　无论是材料器件的外观标准测量、大型数控机床的校准，还是肉眼看不见的声音、气体、温度、压强，抑或细胞的细微变化、电流的强弱、电子信号的瞬息波动，都在各类精密仪器设备的“火眼金睛”下无所遁形。当前制造业转型升级也对设备和生产过程的高精尖程度提出了新要求，进一步刺激精密仪器设备产业链上下游快速成长。

　　据统计，2021年，深圳市精密仪器设备产业增加值达到128亿元，产品竞争力不断增强。其中，数字多用表、电子测量仪器、电能表等细分领域集聚了一批重点企业，高速高精点位操作技术、厘米级型谱化移动测量装备等关键技术研究成果获得国家科技奖，建成深圳市大型科学仪器共享平台等一批公共服务平台和创新载体，涌现出华盛昌、中图仪器、万测试验、浩宁达仪表、达实智能、科陆电子、拓邦股份、迈瑞、华大基因、鼎阳科技、中科飞测、宇星科技等一批代表性企业，为高端仪器国产化贡献了“深圳智慧”。

　　所处的电子电力检测、红外检测、环境检测等智能检测技术是精密测量仪器领域的重要环节。在南山区西丽百旺信科技园内的展厅陈列着各类与国际领先品牌站在同一起跑线的高精度测量仪器，包括专业电气安全检测仪表、可远程监控并进行智能物联网大数据分析的电能质量和能源管理仪器、专业红外热成像仪、检验空气质量的颗粒物计数仪等。当记者朝一块外观时尚的智能手表呵口气时，它甚至能准确测量出酒精含量是否超标。

　　在精密仪器设备的下游应用端，2003年成立的华测检测认证集团股份有限公司是中国第三方检测认证行业首家上市公司，已在全球90多座城市设立150多间实验室，其检测和认证服务覆盖衣食住行的供应链上下游。

　　作为一个“标准”密集型产业，精密仪器设备比拼的是精益求精的劲头。在“失之毫厘谬以千里”的微观世界里，谁掌握标准的制定权，就拥有创新发展的主动权。

　　担任深圳市传感器与智能化仪器仪表行业协会会长单位的华盛昌是《穿戴式快速筛选酒精检测仪》《婴幼儿室内空气质量分级》和《过滤式空气净化器颗粒物净化性能分级》标准参编单位，也是《红外人体表面温度快速筛检仪》国标起草单位。

　　以迈瑞所在的医疗器械领域为例，这是各类精密仪器的兵家必争之地，其中对血液细胞的分析尤为激烈。

　　人体内分布着数十万亿个细胞，观测分析其变化规律，可作为许多疾病的诊断依据。1998年以前，中国血液细胞分析产品市场上是清一色的外国品牌。1998年，迈瑞推出了中国第一台准全自动三分群血液细胞分析仪，这一格局才被打破。如今，在高端血液细胞分析系统方面，迈瑞生产的五分类血液分析仪已占据重要位置。

　　工作人员解释，它采用半导体激光散射技术和细胞化学染色技术，当激光照射到细胞时，不同角度的散射光可反映细胞的体积大小、颗粒等不同信息，再结合其他特殊技术完成白细胞的五分类测定。研发团队在试剂、光学、算法、液路、系统设计、机械、软硬件、可靠性等方面攻克了多项技术难关，突破了多项国际技术封锁。

　　“精”是精密仪器设备产业当之无愧的内核。无论是纳米级别的测量精度，还是长期专注于某一领域的企业发展战略，无不凸显“”特质。

　　去年12月1日登陆科创板的深圳市股份有限公司是数字示波器、信号发生器、频谱分析仪和矢量网络分析仪四大通用电子测试测量仪器主力产品领域中的国家级“小巨人”企业。其开发的数字示波器产品被称作电子工程师的“眼睛”，能把肉眼看不见的电信号转化为波形图像，方便工程师研究各种电现象的变化过程，采集电路中的电信号并进行测量、分析和处理。

　　“专精特新”的灵魂是持续创新。目前累计专利数量达233项，其中发明专利153项，多项核心技术在行业内处于领先地位。今年一季度，鼎阳科技境内外营业收入均保持增长，其中，中高端产品以及境内市场增长势头尤为明显。

　　专注精密测量领域的中图仪器是另一家跻身工信部第三批专精特新“小巨人”企业榜单的企业。2019年，该公司通过了广东省科学技术厅“广东省高精度3D测量工程技术研究中心”认定，次年又荣获中国机械工业联合会机械工业创新大赛银奖，获得中国学会科技进步二等奖。

　　一个产业集群的做强，势必要求一个融合了科研机构、共性技术研发平台、中试验证平台、孵化平台在内的产业支撑。

　　光明区高科创新中心四楼是深圳中国计量科学研究院技术创新研究院的过渡院区所在地。在启动运营不足两年的时间里，已建成多间实验室。微纳仪器与精密测量实验室内，研究人员正在开展微纳尺度测量技术与仪器技术攻关。一台即将交付用户的衍射法栅格间距测量装置可以在狭小的内部空间内实现激光光束的层叠式传播，量值直接溯源至米定义波长基准，并有效缩短溯源链，实现扁平化量值传递。

　　按照规划，总建筑面积6.84万平方米的中国计量院深圳创新院永久院区将在不远处的光明科学城大科学装置集群区建设。

　　“研究院将边建设、边运行、边转化，未来将打造成为计量基础技术和共性技术扩散中心。”研究院副院长宋振飞说。

　　作为科技创新的公共服务平台代表，深圳市大型科学仪器共享平台已经运营近3年，在整合深圳高校、科研院所、企业等单位的科技资源方面开展了有效探索。2021年度，进入共享平台的单台原值超过50万元(含)且利用财政资金出资购置的科研仪器总数量为4434台套，涉及电子信息、海洋、化工、生物等行业的十多个仪器类别，平均开放率为86.3%，使用率为104.3%。缺少大型科研设备的中小企业可以在平台上便捷预约价值不菲的高端精密仪器，有效盘活了深圳精密仪器设备资源。

　　另一方面，行业协会也在推动产业集群做大做强方面，发挥了不可或缺的黏合剂作用。

　　成立于1989年的深圳市与智能化行业协会是行业内的代表性协会，已聚集480多家企业、高校及科研机构，在服务精密仪器设备产业集群发展方面开展了大量工作。

　　如何建设高效能的公共服务平台？深圳市与智能化仪器仪表行业协会执行会长钱宗春建议，首先要发挥协会在政府和企业之间的桥梁和纽带作用。其次要强化企业服务能力建设，引导中小企业注重开发新兴和细分市场，与企业联合制定高端精密仪器整机和核心零部件行业标准、地方标准和团体标准。

　　不止于黏合剂，更要做产业催化剂。钱宗春建议，要持续推动企业、高校、科研院所等创新主体联合开展高端仪器整机和核心零部件攻关。他透露，协会已启动国家重大科学仪器设备开发专项“工业物料成分实时在线检测仪器的开发和应用”产业化工作，推动科尔达电气设备总公司与南京航空航天大学等开展产学研用合作，目前正在进行用户工业性试验。

　　今年6月发布的《行动计划》中提出，到2025年，深圳市精密仪器设备产业增加值将达到200亿元，其中工业自动化测控仪器增加值达到百亿级规模，信息计测与电测仪器、科学测试分析仪器及各类专用检测与测量仪器实现快速增长。

　　为实现上述目标，深圳将实施核心关键环节创新突破工程、产业支撑服务能力强化工程、标准和知识产权体系建设工程、质量提升与品牌培育工程、自主产品规模化应用工程、企业竞争力成长工程。

　　从政策、资金到人才，深圳正在为推动精密仪器设备产业集群发展构筑坚实基础。