典型精密仪器设计一、 集成电路发展简况半导体工业由20世纪初至今， 已经历了 电子管、 晶体管、 集成电路(IC) 、 大规模集成电路(LSI) ， 超大规模集成电路(VLSI) 五代的演变。 从第一支晶体管的诞生到超大规模集成电路制成只用 了 30年的时间规模集成电路制成只用 了 30年的时间。 随着集成度的增加，线条越来越微细化。 当前， 提高微细化程度已成为重大的技术关键。随着集成度的增加

　　典型精密仪器设计一、 集成电路发展简况半导体工业由20世纪初至今， 已经历了 电子管、 晶体管、 集成电路(IC) 、 大规模集成电路(LSI) ， 超大规模集成电路(VLSI) 五代的演变。 从第一支晶体管的诞生到超大规模集成电路制成只用 了 30年的时间规模集成电路制成只用 了 30年的时间。 随着集成度的增加，线条越来越微细化。 当前， 提高微细化程度已成为重大的技术关键。随着集成度的增加