本书分为上、下两篇，即“误差理论与数据处理”和“仪器精度分析”。其中，上篇“误差理论与数据处理”包括第1～9章，主要阐述误差和精度的基本概念、误差分布、随机误差、系统误差、粗大误差、误差传播与误差合成、测量结果的不确定度评定、最小二乘法以及回归分析与经验公式拟合；下篇“仪器精度分析”包括第10～16章，主要阐述仪器精度的基本概念及评定、仪器精度的估算、精密机械系统的精度、光学系统及其元件精度分析、仪器电子系统精度分析、仪器总体精度设计以及典型仪器的精度分析，给出了光电经纬仪、光电坐标测量仪和万能工具显微镜三种军民两用的精密仪器的精度分析实例。本书可作为高等学校仪器科学与技术、机械工程、光学工程、电子类及其他直接为国防科技工业服务的学科专业的本科生和研究生教材，也可供有关科研及生产部门的工程技术人员参考。