精密设备的结构都是一体型的，只需要拆掉外部链接即可，像工业生产机器臂，拆除电器连接、电气连接、控制柜就可以对设备进行包装，所以精密设备的拆卸环节相对生产设备的拆卸过程要简单的多。精密设备的包装方式主要有两种，一种是木箱，另一种是采用真空包装的形式装入木箱。某些精密设备对震动、温度要求比较高，应该配置防震车、恒温恒湿车进行运输搬运。而较大多数的精密设备还是都可以采用厢式货车进行运输搬运即可。精密设备安装的过程，需要按照无尘室设备搬运及安装规范进行操作，因为其安装地点一般在无尘车间内进行。