典型精密仪器设计一、集成电路发展简况半导体工业由20世纪初至今，已经历了电子管、晶体管、集成电路(IC)、大规模集成电路(LSI)，超大规模集成电路(VLSI)五代的演变。从第一支晶体管的诞生到超大半导体工业由20世纪初至今，已经历了电子管、晶体管、集成电路(IC)、大规模集成电路(LSI)，超大规模集成电路(VLSI)五代的演变。从第一支晶体管的诞生到超大3 年 。 随 ， 规模集成电路制成只用了 30 年的时间 。 随着集成度的增加 ，线条越来越微细化。当前，提高微细化程度已成为重大的技术关键。线条越来越微细化。当前，提高微细化程度已成为重大的技术关键。

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