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SuperViewW1 三维光学3D表面轮廓仪
时间:2023-10-07 15:29 点击次数:150

  中图仪器坚持以技术创新为发展基础,拥有一支集光、机、电、信息技术于一体的技术团队,历经20年的技术积累和发展实践,研发出了基础计量仪器、常规尺寸光学测量仪器、微观尺寸光学测量仪器、大尺寸光学测量仪器、常规尺寸接触式测量仪器、微观尺寸接触式测量仪器、行业应用检测设备等全尺寸链精密仪器及设备,能为客户提供从纳米到百米的精密测量解决方案。

  中图仪器的销售和服务网点遍及全国三十多个省、市、自治区,产品远销欧、美、东南亚等海外市场,坚持为客户提供高质量产品和服务。

  中图仪器还将继续专注于精密测量检测技术的发展,自强不息、知难而上、勇于创新,为中国制造技术的快速发展贡献力量!

  SuperViewW1三维光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是基于白光干涉原理研制而成,采用扩展型的相移算法EPSI,集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,单一模式即可适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型,让3D测量变得简单。

  SuperViewW1三维光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是基于白光干涉原理研制而成,采用扩展型的相移算法EPSI,集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范围两大优点,单一模式即可适用于从超光滑到粗糙、平面到弧面等各种表面类型,让3D测量变得简单。

  (1)采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;

  (2)隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得高测量重复性;

  具备的环境噪声检测模块能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰,在设备调试、日常监测、故障排查中能够提供定量的环境噪声数据作为支撑。

  集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

  在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,当镜头触碰到样品表面时,仪器自动进入紧急停止状态,最大限度的保护仪器,降低人为操作风险。

  既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机,在无外接气源的条件下也可稳定工作。

  SuperViewW1三维光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。

  (3)双重防撞保护:软件ZSTOP和Z向硬件传感器,让“以卵击石”也能安然无恙;

  (5)双重振动隔离:气浮隔振,吸音隔振,任你“地动山摇,我自岿然不动”。

  (4)分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能;

  (5)分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能;

  对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

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