微机电工程材料、微系统设计、微机电器件与系统、微纳米测量与测试技术、传感器与信号、微结构光电子学、微纳制造导论、工程力学、机械设计基础、热工基础、电工电子技术基础、计算机系列课程、现代控制理论、制造原理、测试与检测技术、精密工程与制造、应用电子技术、计算机与控制技术、测试与信号处理技术、工程光学、激光应用与光电技术等

　　精密仪器是指用以产生、测量精密量的设备和装置，包括对精密量的观察、监视、测定、验证、记录、传输、变换、显示、分析处理与控制。精密仪器是仪器仪表的一个重要分支。

　　光机电整合本质上是一个高度跨领域整合的工程技术，包括机电整合、光电技术、光机整合乃至微机电或微光机电系统等几大领域，光电、机电或光机组件（或系统）皆是现代精密仪器的基本构成要素。

　　纳米级的精密机械研究成果、基因层次的生物学研究成果、新型微型传感器研究成果，以及特种功能材料研究成果不断涌现，为精密仪器向微型化方向发展提供了技术支持。

　　以Internet为代表的网络技术的出现以及与其他高新科技的互相融合，不仅已开始将智能互联网产品带入现代生活，而且也为精密仪器技术带来了前所未有的发展空间和机遇，具备网络功能的新型精密仪器应运而生。

　　美国的National Instrument公司最先提出了“软件就是仪器”的设计思想，虚拟精密仪器技术突破了传统精密仪器的概念框架，得到了很快的发展。相比而言，虚拟精密仪器对被测量的处理和计算可以更复杂，速度更快，测试结果的表达方式更加丰富多样，能更方便地存储和交换测试数据，价格低并且技术更新越来越快。

　　精密仪器的智能化和高科技化，必将成为未来精密仪器科技与产业发展的主流。

　　仪器各部分的安装固定，仪器测量精度、定位精度和运动精度的保证，由精密机械系统来实现和完成。精密仪器的测量控制对象也通常为机械结构的运动量。

　　②计算机控制：包括信号处理分析，以及在此基础上的自动控制（发出控制指令）。

　　③伺服驱动：电子与机械部分的接口，按控制指令的要求控制被控对象实现预定的动作。

　　利用各种光学原理，实现对被测量的转换、放大、投影、显示、传输等。传统的光学系统是与机械技术相结合实现其功能的，现代的光学系统又结合了电子技术，实现光学信息的处理和控制。

　　以精密机械、电子学、光学和计算机技术等多学科理论和技术基础的融合为基本特征，培养学生具有深厚的数理、工程技术基础，有宽广知识面，较强的创新能力和实践能力。随着现代科学技术的发展，本学科所覆盖的“光机电算”一体化技术不仅体现知识的综合应用能力，也已成为高新技术的具体体现。无论是在国家经济建设和科技基础的研究，还在国防安全重大、重要技术装备等多方面都担负重要角色。

　　本专业毕业的硕士研究生，除部分继续攻读博士学位外，大部分进入科研院所、高等院校及高新技术企业从事教学、研究、工程设计、产品开发和技术管理工作。