精密仪器设计 Design of Precision Instrument

　　信息加载于光波,是一种非接触和非破坏性测量,可适用于远距离、危险、恶劣环境测量;

　　现代精密仪器:现代制造技术(光、机、电、算)、纳米技术、仿生学原理、新材料等。

　　精密机械系统——X-Y精密工作台、微动工作台(Micro-table)、真空吸附台以及传动部件(如 Flexure Hinge)等。

　　电机——直流电机、交流电机、直线电机、力矩电机、音圈电机(Voice Coil Motor)、步进电机(Stepping Motor)、纳米电机(Nanomotion)等。

　　微位移技术中,采用致动器(Actuator)作为驱动源,如PZT、Electrostatic Force等。

　　作用:利用显微系统、照相系统、望远系统及调制器、滤波器将来自被测对象的光变成光电传感器能接收的光

　　光电测量中,光是信息的载体,光源及照明系统的质量对光电测量往往起着关键的作用。含光源的特性、光源的种类、照明光学系统及光源选用等问题。

　　在给定的波长范围内,某一光源所发出的光通量与产生该光通量所需要的功率之比,称为该光源的发光效率,表示为: