是以白光干涉技术为原理（用于光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的设备），能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器。其基本原理就是通过不同光学元件形成参考光路和光路。用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项

　　利用光学干涉原理研制开发的超精密表面轮廓测量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光，并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置解析出被测样品的相对高度。

　　在检查仪器的各线路接头都准确插到对应插孔后，开启仪器电源开关，启动计算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置，先手动调整载物台大概位置，对准白光干涉仪目镜的下方。

　　在计算机上打开测量软件，在软件界面上设置好目镜下行的最低点，再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离，调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳，此时设置好要扫描的距离。按开始按钮，仪器仪可自动进行扫描测量，测量完成后，转件自动生成3D图像，测量人员可以对3D图像进行数据分析，获得被测器件表面线d光学轮廓仪

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　　什么时候用 /

　　是做什么 /

　　能实现超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量，提供更高精度的检测需求。

　　工作原理 /

　　属于精度高达到亚纳米级别的检测仪器，对使用的现场环境（地面振动、空气中声波振动）比较敏感，因此中图的

　　是干嘛的 /

　　助力半导体智能制造 /

　　测量表面粗糙度？ /

　　是干什么用的？ /

　　检测原理是什么 /

　　)能测什么？应用案例介绍 /

　　)在金属测量方面应用广泛，可以实现非接触式、高精度的测量。SuperViewW1

　　可以测量金属的形状、表面缺陷、几何尺寸等多个方面，自动聚焦测量工件获取2

　　可以测金属吗？ /

　　专家点赞！国家重点研发计划“六自由度激光自动精准跟踪测量关键技术”项目通过验收